DIN 28400-6:1980-10
Withdrawn
Vacuum technology; terms and definitions, surface analysis techniques
Hardcopy , PDF
German
10-01-1980
07-02-2026
1 Allgemeine Benennungen
1.1 Probe
1.2 Oberfläche
1.3 Stimulation
1.4 Emission
1.5 Winkel
1.6 Flächen
1.7 Ausbeute
1.8 Analysenarten
1.9 Eigenschaften von Analysegeräten für Oberflächenschichten
2 Analysenverfahren
2.1 Sekundärionenmassenspektroskopie; SIMS
2.2 Oberflächenanalyse durch lonensteuerung; ISS und RBS
bzw. RIBS
2.3 Augerelektronenspektroskopie; AES
2.4 Photoelektronenspektroskopie; UPS und XPS
2.5 Beugung langsamer Elektronen; LEED
2.6 Elektronenenergieverlustspektroskopie; ELS
Keine Zusammenfassung in der Norm vorhanden.
| DocumentType |
Standard
|
| Pages |
10
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| PublisherName |
German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
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| Status |
Withdrawn
|
| DIN 28400-1:1990-05 | VACUUM TECHNOLOGY - TERMS AND DEFINITIONS - GENERAL TERMS |
| DIN 28402:1976-12 | Vacuum technology; quantities, symbols, units, summary |
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