DIN IEC 62047-8:2008-05 (Draft)
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SEMICONDUCTOR DEVICES - MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICES - PART 8: STRIP BENDING TEST METHOD FOR TENSILE PROPERTY MEASUREMENT OF THIN FILMS
Published date
01-12-2013
Superseded date
12-01-2011
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In diesem Dokument wird das Streifen-Biege-Prüfverfahren (en: strip-bending test method) zur Messung von Zugbeanspruchungsmerkmalen bei dünnen Schichten mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit festgelegt, und das bei einem vertretbaren Aufwand für das Einrichten und das Handling der Prüflinge im Vergleich zur Mikro-Zugbeanspruchungsprüfung.
| DocumentType |
Draft
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| PublisherName |
German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
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| Status |
Superseded
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| SupersededBy |
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