VDE 0126-18-2-1 : 2007
Superseded
Superseded
View Superseded by
SOLARSCHEIBEN - TEIL 2-1: MESSUNG DER GEOMETRISCHEN DIMENSION VON SILICIUMSCHEIBEN - SCHEIBENDICKE
Published date
01-12-2013
Publisher
Superseded date
12-01-2009
Superseded by
Sorry this product is not available in your region.
Vorwort
1 Anwendungsbereich
2 Normative Verweisungen
3 Begriffe
4 Einheiten
5 Messeinrichtung
5.1 Messgeräte
5.2 Dicken-Kalibriernormale
6 Justierung und Kalibrierung
7 Messung
7.1 Messstellenplan
7.2 Durchführung
7.3 Einfluss der Oberflächenrauheit
8 Auswertung
9 Prüfbericht
10 Präzision des Verfahrens
Literaturhinweise
Das Verfahren nach dieser Norm dient dazu, die Dicke von kristallinen Siliciumscheiben zu bestimmen, wobei sowohl berührungsfreie als auch berührend arbeitende Dickenmessgeräte verwendet werden können.
| DocumentType |
Standard
|
| PublisherName |
Verband Deutscher Elektrotechniker
|
| Status |
Superseded
|
| SupersededBy |
| Standards | Relationship |
| DIN V VDE V 0126-18-2-1 : 2007 | Identical |
Summarise
Sorry this product is not available in your region.