DIN IEC 62047-4:2006-09 (Draft)
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SEMICONDUCTOR DEVICES - MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICES - PART 4: GENERIC SPECIFICATION FOR MEMS
Published date
01-12-2013
Superseded date
03-01-2011
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In diesem Teil der IEC 62047 sind Fachgrundspezifikationen (Generic Specifications) für Bauteile der Mikrosystemtechnik (MST) als Basis für die Spezifikationen beschrieben, welche in anderen Teilen dieser Serie für unterschiedliche MST-Anwendungsbereiche angegeben sind. Diese Norm enthält Festlegungen sowohl zu allgemeinen Verfahren für Qualitätsbewertungen, um sie innerhalb des IECQ-CECC-Systems zu verwenden, als auch allgemeine Prinzipien zur Beschreibung und Messung bzw. Prüfung von elektrischen, optischen, mechanischen und umgebungsspezifischen Kenngrössen.
| DocumentType |
Draft
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| PublisherName |
German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
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| Status |
Superseded
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| SupersededBy |
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