DIN IEC 62047-6:2007-07 (Draft)
Superseded
Superseded
View Superseded by
SEMICONDUCTOR DEVICES - MICRO-ELECTROMECHANICAL DEVICES - PART 6: AXIAL FATIGUE TESTING METHODS OF THIN FILM MATERIALS
Published date
01-12-2013
Superseded date
07-01-2010
Superseded by
Sorry this product is not available in your region.
In dieser Norm ist ein Prüfverfahren zur uniaxialen Dauerschwingfestigkeit mit Zug-Zug-Beanspruchung bei konstanter Spannungs- oder Dehnungsamplitude festgelegt für Dünnschicht-Werkstoffe mit einer Länge und Breite kleiner als 1 mm und einer Dicke im Bereich von 0,1 [mu]m bis 10 [mu]m. Dünnschicht-Werkstoffe werden als hauptsächliche Werkstoffe für die Herstellung von Bauteilen der Mikrosystemtechnik und Mikromaschinen verwendet.
| DocumentType |
Draft
|
| PublisherName |
German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
|
| Status |
Superseded
|
| SupersededBy |
Summarise
Sorry this product is not available in your region.